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ARTICLES详细介绍
Lxxx.indus 系列·压电线性运动位移台
极简工业风的运动模块
多自由度·纳米级运动也可以搭积
• 超安静运动,20 kHz驱动频率;
• 极紧凑外形设计;
• 内置集成光学位置传感器;
• 30, 60, 100, 180mm多行程可选;
• 高负载,支持多种拼接案例;
• 闭环控制 · 空间传感分辨率 2 nm;
• 最小步伐优于 10 nm;
• 可提供多轴堆叠安装转接件;
• 支持无磁(.NM), 高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件;
• 控制器和Lab系列线性台,旋转台和摇摆台通用
L030.indus
尺寸:63 mm x 24 mm x 14 mm
行程:30 mm
L060.indus
尺寸:108 mm x 24 mm x 14 mm
行程:60 mm
L100.indus
尺寸:182 mm x 24 mm x 14 mm
行程:100 mm
L200.indus
尺寸:295 mm x 80 mm x 20 mm
行程:200 mm
压电陶瓷位移台线性运动,兼容无磁高真空——详细参数:
压电陶瓷位移台线性运动,兼容无磁高真空——尺寸图:
L030.indus
L060.indus
L100.indus
L150.indus
L200.indus
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