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压电·二维/三维扫描运动 Sxxx.XYZ.C
➡ 针对精密光学、半导体表征等“3自由度扫描运动”需求的定制化解决方案
• 三维度XYZ 扫描运动 100 um × 100 um × 100 um;200 um × 200 um × 200 um
• 外形尺寸, 55 mm × 55 mm × 40 mm;
• 闭环定位精度优于 1 nm;
• 支持无磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 选件升级;
压电多维度扫描台,三维扫描运动,兼容无磁高真空——详细参数:
压电多维度扫描台,三维扫描运动,兼容无磁高真空——尺寸图:
多场科技“压电扫描台·紧凑型”解决方案主要包含:
S —— 扫描标准系列;
SD —— 高动态系列;
SH —— 高负载系列。
S, SD & SH 系列覆盖X轴单维度运动、Z轴单维度运动、XY轴双维度运动和XYZ轴三维度运动等应用场景,支持电容闭环传感,可选无磁/高真空/超高真空选件升级。
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