相关文章
ARTICLES详细介绍
压电·高速单轴扫描运动 – SD15/30.x.C
➡ 高速扫描运动,电容闭环传感,超高运动分辨率
• X 方向运动范围 15 um, 30 um;
• 外形尺寸, 62 mm x 40 mm x 13.5 mm, 80 mm x 40 mm x 13.5 mm;
• 闭环定位精度优于 0.1 nm;
• 电容位置传感器;
• 高速运动响应;
• 支持高真空 (.HV) ,超高真空 (.UHV) 选件升级;
微纳压电扫描台,高速扫描运动,兼容高真空——详细参数:
微纳压电扫描台,高速扫描运动,兼容高真空——尺寸图:
SD15.x.C
SD30.x.C
多场科技“压电扫描台·紧凑型”解决方案主要包含:
S —— 扫描标准系列;
SD —— 高动态系列;
SH —— 高负载系列。
S, SD & SH 系列覆盖X轴单维度运动、Z轴单维度运动、XY轴双维度运动和XYZ轴三维度运动等应用场景,支持电容闭环传感,可选无磁/高真空/超高真空选件升级。
产品咨询