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ARTICLES详细介绍
压电·大范围扫描运动 Carrier.OBxxx.C
➡ 针对显微物镜的大负载、高动态、紧凑型解决方案,用于显微成像、自动对焦等应用
• Z 方向运动范围 50-400 um;
• 最快稳定时间(90%位置稳定)10 ms以内;
• 闭环定位精度优于 1 nm;
• 控制器兼容多场科技MC-Archimedes Series;
• ⽀持无磁 (.NM) , 高真空 (.HV) 和超高真空(.UHV)选件升级;
压电陶瓷扫描台,物镜型,兼容无磁高真空——详细参数:
压电陶瓷扫描台,物镜型,兼容无磁高真空——尺寸图:
Carrier.OB050.C
Carrier.OB100.C
Carrier.OB200.C
Carrier.OB400.C
多场科技“压电扫描台·物镜型"解决方案Carrier.OB.系列主要针对精密光学,半导体表征等应用场景,核心特点包括:
• Z方向单一运动方向,行程覆盖50-400 um
• 快速运动稳定,10 ms内完成
• 支持高负载物镜选项;提供多种物镜转接接口
• 支持第三方软、硬件控制,实现自动对焦
• 支持电容(.C) 位置传感
• 最高分辨率达到0.2 nm
• 支持无磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 选件升级
• 控制器兼容多场科技 Motion Controller - Archimedes Series
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