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ARTICLES详细介绍
压电载物台·闭环 Carrier.SL200.XY / XYZ
➡ 针对载物台“大行程·高精度·重负载"需求的定制化解决方案
• 两维度 XY 扫描运动 200 um × 200 um;
• 三维度 XY 扫描运动 200 um × 200 um × 200 um;
• 闭环定位精度优于 2 nm;
• 最大负载 500 g;
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决方案;
• ⽀持无磁 (.NM) 和高真空 (.UHV) 选件升级;
压电三维扫描台,通孔型,电容闭环传感——详细参数:
压电三维扫描台,通孔型,电容闭环传感——尺寸图:
多场科技“压电扫描台·通孔型"解决方案包括Carrier.S 系列(标准型)和Carrier.SL 系列(轻量型)。Carrier.S & SL 系列主要针对精密光学,半导体表征等应用场景,覆盖载物台“大行程·高精度·重负载"等需求,核心特点包括:
• 运动方式覆盖线性运动 & 俯仰运动
• X,Z,XY,XYZ & ZTT等运动形式全面支持
• 线性运动行程覆盖100 um 到 300 um (可定制更大行程)
• 支持电容(.C) 位置传感
• 最高分辨率达到0.2 nm
• 超快运动响应 & 长时间疲劳测试
• 支持无磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 选件升级
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