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压电·三轴并联 Free3D.ZTxTy.150
➡ 3自由度并联设计,空间中ZTT移动
• 由纳米级驱动单元实现的三自由度并联结构,有效降低累积误差;
• 多轴姿态同时调节、结构稳定、刚性高;
• 平动行程:Z ±5 mm;
• 主体材料:铝合金;
• 角摆行程:ΘX, ΘY, ±3 °, ±3 °;
• 最大垂直负载:3 kg;
• 单向重复定位精度Z:±0.15 μm;
• 单向重复定位精度ΘX, ΘY:±2.5 μrad, ±2.5 μrad;
• 最小位移Z:25 nm;
• 最小位移ΘX, ΘY:7.5 μrad, 7.5 μrad;
• 速度:1 mm/s - 10 mm/s;
• 重量:1.5 kg;
• 可提供真空环境规格;
• 集成传感器:光学编码器;
• 位置传感分辨率:2 nm;
• 控制软件:提供PC端使用软件;
• 控制器通道:3通道输出控制;
• 控制方式:根据用户输入的位移指令,实现对位移台三轴空间姿态的运动调节;各驱动单元模块通过光栅位置反馈实现闭环控制;通过专用软件,实现对三轴并联运动的解算,分配到各驱动单元模块,实现三轴空间姿态的同时调节
压电三轴并联位移台,三自由度,ZTT移动——详细参数:
压电三轴并联位移台,三自由度,ZTT移动——尺寸图:
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