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压电·镜片偏摆台 Mirrors.Z12TxTy0101
➡ 3自由度调节,通孔型摇摆台,毫秒级运动响应,高分辨率解决方案
• 并联结构设计保证三自由度调节;
• 直径10 mm 通孔;
• 最大行程 12 μm;
• ms级响应;
• 主体材料:铝合金 & 不锈钢;
• 最高精度μrad级别;
• 控制器 MC – Archimedes.N3S;
• 闭环传感器:SGS;
• 支持无磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 选件升级;
压电位移台快反镜,3自由度调节,高速摆镜——详细参数:
压电位移台快反镜,3自由度调节,高速摆镜——尺寸图:
多场科技Mirrors高速摆镜系列实现单轴/双轴/三轴全运动行程,高动态镜片运动控制,闭环操作;支持多自由度运动,支持无磁,高真空兼容版本;也提供大行程镜片运动控制
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