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压电运动·室温
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Free3D.ZTxTy.150,压电三轴并联位移台,三自由度,ZTT移动;由纳米级驱动单元实现的三自由度并联结构,有效降低累积误差;多轴姿态同时调节、结构稳定、刚性高。
Free6D.3-2.150.G2,压电六轴并联位移台,六自由度,兼容高真空;控制方式:各驱动单元模块通过光栅位置反馈实现闭环控制;通过专用软件,实现对六轴并联运动的解算,分配到各驱动单元模块,实现六轴空间姿态的同时调节。